光MEMS器件

MEMS光开关是在硅晶上刻出若干微小的镜片，通过静电力或电磁力的作用，使微镜阵列产生转动，从而改变输入光的传播方向以实现光路通断的功能。MEMS光开关切换光波路由是通过外部控制信息以及相应的高低电平控制内部微镜片抬升与否来完成的。工艺流程主要包括备片、光刻、干法刻蚀、氧化、PECVD、深硅刻蚀等，用来制备支撑悬臂梁、支撑架、可动。