MEMS压力传感器

MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪（压阻型感测）来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。工艺流程主要包括备片、氧化、光刻、刻蚀、离子注入、沉积等，要来制备敏感薄层、压敏电阻以及背腔等。