MEMS气体传感器

MEMS电导型气敏传感器的敏感材料是金属氧化物半导体或导电聚合物，使用最多的金属氧化物半导体是二氧化锡，其次是二氧化钛、氧化锌等。为提高气敏传感器灵敏度和选择性，往往会向金属氧化物中加入催化剂，如铂、钯等贵金属或合适的金属氧化物。当敏感材料暴露于被测气体中，气体会与它们发生反应，引起电导率或电阻率的变化，产生的电信号经过信号处理后，输出为可识别气体成分或气体浓度的信号。MEMS金属氧化物半导体气敏传感器采用微电子技术的成膜工艺在硅衬底上淀积金属氧化物敏感层，利用敏感层下的电阻做加热器，利用二极管做测温元件，必要的信号电路和读出电路也可以集成在同一硅芯片上。工艺流程主要包括备片、光刻、干法刻蚀、氧化、湿法腐蚀、金属溅射以及合金等，用来制备金属氧化物层以及信号传递导线等。