MEMS惯性传感器

MEMS惯性器件包含MEMS陀螺仪和MEMS加速度计两类器件，MEMS陀螺仪是一种角速率或角度检测器件，MEMS加速度计是一种加速度检测器件，基于MEMS技术的微机械陀螺仪和加速度计具有体积小、功耗低、可大规模制造等优点，主要应用于惯性导航系统、汽车、移动终端、可穿戴、工业控制、消费电子、无人驾驶、无人机等领域。惯性传感器主要由标准质量块（传感元件）和检测电路组成，利用科里奥利和萨格纳原理来实现角度、位移、加速度等物理量的测量。其传感元件依赖于键合、光刻和深硅刻蚀工艺来完成，整个芯片的工艺流程主要包括备片、光刻、干法刻蚀、氧化、金属溅射、机械减薄、键合以及合金等。